ASML首台High-NA EUV光刻机或将于年底前交付
电子芯片网消息，据路透社报导，全球光刻机大厂ASML CEO Peter Wennink表示，尽管有些供应商遇到了一些阻碍，但今年年底将照计划推出下一代的High NA（高数值孔径）EUV产品线的首款产品。
2023-09-07
ASML 半导体设备 EUV光刻机
国产光刻机工厂落地雄安？中国电子院澄清
电子芯片网消息，近期，一则7纳米光刻机实现国产化消息在业界刷屏，消息指出清华大学EUV项目实现了光刻机国产化，并表示该项目已在雄安新区落地。 对此，9月18日中国电子院官微进
2023-09-20
半导体设备 EUV光刻机 国产芯片
